本实用新型公开了一种光罩蚀刻用清洗装置，包括清洗水槽和支撑清洗水槽的U形支架，所述清洗水槽顶面设有支撑架，所述支撑架上设有喷淋组件，所述喷淋组件包括喷淋管和多个喷淋头，所述多个喷淋头等间距安装于喷淋管的表面，所述多个喷淋头顶端设有水压调...

本实用新型公开了一种防静电光罩运输装置，涉及光罩运输领域，包括移动板车，所述移动板车的上端外表面设有运输箱与推把，所述运输箱位于推把的一侧，所述运输箱的上端外表面设有雾化箱与箱盖，所述雾化箱位于箱盖的一侧。本实用新型所述的一种防静电光罩...

本发明公开了一种可精确控制蚀刻偏差的光罩蚀刻用定位装置，包括定位底座，以及固定安装于定位底座底面左右两侧的移动导轮；所述定位底座的顶面中部固定连接于导向滑杆的中部；还包括：定位底座的内部上方通过轴承横向转动设置有导向螺纹杆；其中，定位底...

本实用新型涉及测量技术领域，且公开了一种高精度图案测量装置，解决了目前在物品对外表面图案测量时，通常通过人员手动扶持，随后通过量尺进行测量，测量效果不准确的问题，其包括支撑板，所述支撑板上端中部连接有测量板，所述测量板一侧下部连接有固定...

本发明公开了一种便于表面清理的掩模板图案测量用工作台，包括底座、电机、出料口以及工作台本体；其中，所述底座的内部位置设置有蜗杆，且所述蜗杆内部的左侧开设有出料口；还包括：所述电机的输出端连接有蜗杆，且所述蜗杆的左侧外壁设置有蜗轮盘，且所...

本实用新型公开了一种光罩显影专用固定装置，包括外框架，外框架底部安装导流板，外框架内腔等间距安装多块分隔板，相邻两块分隔板之间为光罩放置仓，每个光罩放置仓内均安装夹紧组件，夹紧组件夹紧待显影光罩，本实用新型结构设计新颖，能够实现对多个光...

本实用新型公开了一种光罩清洗工作台，包括工作台本体，工作台本体底部固定安装万向轮组件，工作台本体上端面四周分别安装中空挡板，工作台本体上端面安装光罩放置板，光罩放置板表面均布若干排水孔，工作台本体内腔安装水箱和过滤箱，本实用新型结构设计...

本实用新型公开了一种升降式光罩放置平台，包括平台本体、底座和升降机构，升降机构安装于平台本体和底座之间，平台本体上端面开设光罩放置槽，光罩放置槽内等间距放置多块分隔板，相邻两块分隔板之间放置光罩，本实用新型结构简单，操作方便，能够分类放...

本实用新型公开了一种光罩蚀刻专用夹具，包括光罩放置平台，光罩放置平台表面设置两个定位块，光罩放置平台两侧分别安装第一挡块和第二挡块，第一挡块内侧安装第一夹紧组件，第二挡块内侧安装第二夹紧组件，第一夹紧组件和第二夹紧组件之间夹持待蚀刻光罩...

本实用新型公开了一种光罩清洗专用海绵刷洗装置，包括清洗箱，清洗箱内腔底部安装光罩放置板，光罩放置板上端面开设放置槽，放置槽内放置待清洗光罩，光罩放置板上方安装海绵刷洗组件，本实用新型结构设计新颖，操作方便，能够实现对光罩表面快速刷洗处理...

本实用新型公开了一种光罩蚀刻用清洗装置，包括清洗水槽和喷淋组件，清洗水槽内放置光罩放置架，光罩放置架内放置多个待清洗光罩，清洗水槽底端一侧安装进水管道，另一侧安装排水管道，喷淋组件安装于清洗水槽上方，本实用新型结构设计新颖，能够实现对蚀...

本实用新型公开了一种光罩显影专用显影槽，包括槽本体，槽本体固定于支撑架上，槽本体内腔安装多孔放置板，多孔放置板与槽本体底壁之间设置容纳仓，容纳仓底壁安装导热板，槽本体底端面安装加热板，还包括搅拌组件，搅拌组件安装于容纳仓，本实用新型结构...

本实用新型公开了一种光罩检测装置，包括移动平台，移动平台底部安装万向轮组件，移动平台上安装光罩载台，光罩载台上端面开设放置槽，放置槽内放置待检测光罩，移动平台上安装伺服电机，伺服电机的电机轴与转轴一端连接，转轴另一端连接光罩载台底端面中...

本实用新型公开了一种光罩静电包装机构，包括包装袋本体，包装袋本体上端口呈开口状，且包装袋本体上端口处安装胶合密封条，包装袋本体内壁喷涂防静电涂层，包装袋本体外部包覆防静电组件，本实用新型结构设计新颖，制作成本低，设置防静电涂层和防静电组...

本实用新型公开了一种光罩镭雕用夹持机构，包括光罩载台，光罩载台上开设放置槽，放置槽内对称安装两组夹紧组件，两组夹紧组件之间夹持待镭雕光罩，光罩载台下方设置底座，光罩载台与底座之间安装升降气缸和减震组件，本实用新型结构设计新颖，能够实现对...

本实用新型公开了一种光罩检测治具，包括安装平台，安装平台上端面中心设在凸起光罩放置平台，凸起光罩放置平台表面均布若干吸气孔，安装平台四周分别安装第一挡块、第二挡块、第三挡块和第四挡块，第一挡块和第三挡块内侧分别安装第一顶推组件，第二挡块...

本实用新型公开了一种便携式光罩转运箱，包括箱体和箱盖，箱盖安装于箱体上端口，箱体上端部两侧分别安装金属支撑板，箱盖两侧分别安装磁铁，箱盖内侧还安装缓震垫，箱体内腔等间距安装多块分隔板，相邻分隔板之间放置光罩，本实用新型结构设计新颖，使用...

本发明公开了一种光罩强光检测工艺，包括以下步骤：A、首先将待检测光罩放置于检测平台上，其中，检测平台采用环形结构，光罩曝光区处于检测平台中心；B、在检测平台下方安装聚合光系统；C、之后在聚合光系统下方安装多个LED光源；D、检测时，点亮...

本发明公开了一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测方法，检测装置包括光罩载台、LED背光源、安装板和图像采集机构，光罩载台上安装待检测光罩，LED背光源安装于待检测光罩正下方，安装板安装于光罩载台上方，图像采集机构安装于安装板，本发...

本发明公开了一种光罩曝光显影工艺，包括以下步骤：A、首先将光罩置于光罩载台上，并通过负压将光罩吸附固定于光罩载台上；B、将光罩载台通过多个气缸顶紧；C、将曝光系统的光源通过聚光透镜照射至光罩上且光源完全遮盖光罩，对光罩进行曝光；D、将曝...